機械手采用耐高溫手指有隔熱設(shè)計,可用于放置高溫托盤,短時間耐高溫300℃以上。指部、腕部靈巧的設(shè)計理念降低了接觸面的表面粗糙度,加大熱阻。同時具有噪音小、振動小、運行平穩(wěn)、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能,有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規(guī)劃,提高運動節(jié)拍,提高了用戶產(chǎn)能。在半導(dǎo)體前道設(shè)備中廣泛應(yīng)用,推動了國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進步,有效的支撐了國內(nèi)設(shè)備商的發(fā)展。
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